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高洁净度化学品供应系统

       化学品分类:

        酸性化学品

        碱性化学品

        有机溶剂化学品化学品

      

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产品特色应用领域

    1.化学品分类:

酸性化学品 

碱性化学品 

有机溶剂化学品 

                                              

    2.化学系统单元架构:

       (1)   储存槽:

      设于厂务区, 化学品暂存用,设有液位计,

      实时通知值班人员补充化学品.

      (2)   供应设备:

     设置于厂务区, 用于化学品 供应/输送/释稀/净化

      (3)   分配阀箱(VMB)

     设于无尘室, 将化学品分配至多个生产机台

      (4)   I/O Panel

     设于无尘室, 做为生产机台与供酸机台通讯接口用

      (5)   DCP (Main PLC Panel)

     设于厂务区, 做为I/OPanel/供酸机台/SCADA

     讯号交换用

      (6)   SCADA (监控系统)

     设于厂务区, 监看各I/OPanel/供酸机台/VMB运转状况,并实时

     发出警报及记录系统状态.

      (7)   管路系统

     化学品输送用,依化学品特性材质可分为PFA SUSPVC.

      (8)   UTILITY

     供酸机台所需之Power/N2/CDA/UPW/EXH/Drain..属之